1

產(chǎn)品名稱

1200℃單溫區(qū)經(jīng)濟(jì)型兩路氣體CVD系統(tǒng)

2

常規(guī)型號(hào)

SGM-O1200-50IC150-D2FH

3

SGM-O1200-60IC150-D2FH

4

SGM-O1200-80IC150-D2FH

5

SGM-O1200-100IC150-D2FH

6

爐膛模式

開啟式

7

顯示模式

高亮數(shù)碼管顯示(LED)

8

爐膛材料

進(jìn)口纖維

9

加熱元件

進(jìn)口合金加熱絲

10

極限溫度

1200℃

11

工作溫度

≤1150℃

12

升溫速率

≤20℃(建議:10℃/min)

13

加熱溫區(qū)

單溫區(qū)

14

溫區(qū)長(zhǎng)度

440mm

15

恒溫區(qū)長(zhǎng)

200mm

16

爐管材質(zhì)

高純石英

17

爐管常規(guī)直徑

50mm

18

60mm

19

80mm

20

100mm

21

爐管長(zhǎng)度

1000mm

22

密封方式

不銹鋼真空法蘭

23

氣 密 性

真空法蘭和石英爐管的氣密性*高可達(dá)4.03×10-3Pa

24

控制模式

智能PID多段程序控溫

25

控溫精度

±1℃

26

溫度曲線

多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

27

預(yù)存曲線

可預(yù)存1條溫度曲線

28

電流監(jiān)控

指針式電流計(jì)

29

電壓監(jiān)控

指針式電壓計(jì)

30

超溫報(bào)警

有

31

過(guò)流保護(hù)

有

32

斷偶提示

有

33

測(cè)溫元件

K型熱電偶

34

電氣認(rèn)證

CE認(rèn)證

35

供電電源

220V 50Hz～60Hz

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整機(jī)功率

2.5KW

37

氣體通道

可連接3種氣源

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流 量 計(jì)

浮子流量計(jì)

39

A路量程

10～100ml/min

40

B路量程

16～160ml/min

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氣路壓力

-0.1～0.15 MPa

42

系統(tǒng)真空 

5～10Pa（需要達(dá)到其它真空度時(shí)，需選配不同的抽真空裝置）

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泵路鏈接

KF16不銹鋼波紋管、KF16卡箍、KF16擋板閥

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真 空 計(jì)

標(biāo)準(zhǔn)配置機(jī)械真空計(jì)，也可選配電子真空計(jì)

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售后服務(wù)

12個(gè)月質(zhì)保，終身保修

46

包裝形式

木箱或簡(jiǎn)裝

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隨機(jī)配件

石英爐管、真空法蘭、爐管堵塞、O型密封圈、坩堝爐鉤、說(shuō)明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、不銹鋼波紋管、KF轉(zhuǎn)接頭、5mm內(nèi)六角扳手。

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整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm